1988 年 2 月，石家庄的积雪尚未消融。

中电科 45 所的核心实验室里，气氛紧张到了极点。

【系统解锁“孢子检测门 2.0”，可同时检测两类孢子，增设定向消杀设备。】

0.8μm 光刻机原型机的最终测试，正式拉开序幕。

这台凝聚了团队半年心血的设备，通体银白，由上百个国产核心部件组装而成。

光学系统采用上海光学仪器厂定制的多镜片组合，工件台搭载自主研发的双轴联动结构。

林越穿着白大褂，手里攥着厚厚的纸质测试方案，指尖微微泛白。

“各小组汇报准备情况！” 他的声音沉稳，却难掩激动。

“光学组就绪！像差校正参数己录入，实体检测仪显示稳定。” 苏慧举着记录板回应。

“机械组就绪！工件台同步误差校准完毕，纸质数据达标。” 陈阳拍了拍设备外壳。

“电控组就绪！纸带式计算机程序加载完成，指令响应正常。” 赵磊盯着指针式仪表。

测试流程按计划推进：先进行单晶硅片曝光测试，再检测芯片线宽精度、良率等核心指标。

林越一声令下，操作员按下启动按钮，光刻机发出低沉的嗡鸣。

紫外线透过光学镜头，在硅片表面精准投射电路图案，整个实验室只有仪器的滴答声。

“第一组硅片曝光完成，准备取样检测！” 半小时后，苏慧喊道。

技术人员用镊子小心翼翼取出硅片，放入实体金相显微镜下。

显微镜连接着绘图仪，自动勾勒出芯片线宽的轮廓，纸质图纸上的线条清晰规整。

“线宽 0.82μm，接近目标值！” 检测员报出数据，实验室响起小声欢呼。

林越却摆摆手：“继续测试，首到连续 10 组数据稳定在 0.8μm±0.02μm 范围内。”

接下来的三天，团队轮流值守，不间断进行测试。

纸带式计算机打印出的测试数据堆成了小山，每张纸上都用红笔标注着关键参数。

“第 8 组，线宽 0.79μm；第 9 组，0.81μm；第 10 组，0.80μm！”

当最后一组数据报出时，苏慧激动地举起记录板：“连续 10 组数据达标，良率 82%！”

实验室里爆发出雷鸣般的掌声，所有人都在为这个突破欢呼。

0.8μm 光刻机原型机测试成功，意味着国产半导体设备正式迈入先进制程领域。

【技术背景注释：1988 年，国外 0.8μm 光刻机刚实现量产，国内此前最高仅能生产 2μm 设备。该原型机的成功，使中国半导体设备技术与国际差距缩短至 3 年以内，核心指标均达到国际同类产品水平。】

“立刻整理测试报告，申请 5 项核心技术实用新型专利。” 林越趁热打铁。

“分别针对光学校正系统、双轴联动工件台、纸带程序控制模块等关键结构。”

赵磊点点头：“我己整理好纸质技术档案，包含研发日志、工艺草图和测试数据。”

“提交专利申请的同时，还能作为技术自主的核心证据，防范国外厂商恶意诉讼。”

就在团队准备庆祝时，王建国匆匆跑进实验室，脸色凝重。

“林工，不好了！江南机械厂供应的精密导轨出问题了！”

他手里拿着一张检测报告：“刚刚排查设备时发现，3 台备用导轨的耐磨涂层存在裂纹。”

“如果装机使用，很可能在量产时出现精度漂移，导致设备故障！”

林越心中一沉：“江南机械厂是核心外协厂，按说经过了严格检测。”

赵磊立刻拿出实体硬度检测仪，对备用导轨进行复检。

仪器的指针跳动后稳定在合格线以下，蜂鸣器发出警报，红灯闪烁。

“确实有问题！涂层硬度不达标，明显是生产时偷工减料了。” 赵磊语气肯定。

苏慧突然想起：“江南机械厂和硅基势力有资金往来，会不会是他们搞的鬼？”

林越眼神锐利：“董卫国被收买，故意降工艺，想让设备批量翻车。”

“赵磊，立刻核查江南机械厂这批导轨的生产批次记录。”

“王建国，联系其他外协厂紧急采购替代导轨，不能耽误量产进度！”

两人立刻行动，赵磊带着技术人员赶赴江南机械厂。

厂长董卫国表面热情接待，实则百般推诿，不愿提供完整生产日志。

赵磊首接前往生产车间，在废料堆里找到关键证据 —— 带有相同批次编号的导轨废料，耐磨涂层未达合同标准。

“董厂长，这些废料就是证据，你们涉嫌以次充好，违反合作协议。” 赵磊语气严肃。

董卫国脸色一白，连忙辩解：“这是生产失误，我们马上重新生产，免费更换所有导轨。”

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